HANBELL IPH系列汉钟真空泵
HANBELL IPH系列汉钟真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。用途包含Etch,Implant,HDP-CVD,SACVD,MOCVD,PECVD,LPCVD,ALD等。也可根据需求定制,贝之特真空有授权代理,诚信经营,期待合作!
IPH系列汉钟真空泵型号有:iPH100、iPH200、iPH610、iPH1210、iPH1210H、iPH1220、iPH1810、iPH1820等,以下有详细配置参数,欢迎浏览。
详细介绍
HANBELL IPH系列汉钟真空泵特点:
1、IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能,适用于严苛制程。
2、IPH系列螺杆真空泵优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。
4、HANBELL IPH系列汉钟真空泵较之前的版本节能25%,配置有省电模式。
5、HANBELL IPH系列汉钟真空泵带有加热系统避免制程物沉积。
6、 优化的尺寸,即插即用。
HANBELL IPH系列汉钟真空泵配置参数
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