HANBELL IPM系列汉钟真空泵
HANBELL IPM系列汉钟真空泵可广泛用于Load Lock、Transfer、Metrology、PVD、Etch、Ashing、Litho、Implant等。贝之特真空有授权代理,诚信经营,期待合作!
详细介绍
HANBELL IPM系列汉钟真空泵特点:
IPM系列汉钟真空泵绿色制造、全新系列干式真空泵不仅体积小、耗功低,还大幅度降低成本,因此贝广泛用于中度严苛制程的节能泵。
HANBELL IPM系列汉钟真空泵配置参数
HANBELL IPM | 100 | 600 | |
DP size | m³/h | 100 | 100 |
Peak Speed | m³/h | / | 600 |
Ultimate Vac | m³/h | 100 | 600 |
Ultimate Vac | mTorr | 7.5 | 3.75 |
System Power at Ult. | KW | 0.7 | 1 |
Dimension- L | mm | 720 | 720 |
Dimension- w | mm | 340 | 340 |
Dimension- H | mm | 465 | 700 |
Noise | dB(A) | 65 | 65 |
Weight | Kg | 145 | 200 |
Inlet Connection | ISO | 63 | 80 |
Outlet Connection | NW | 25 | 25 |